俄罗斯仍有5台ASML光刻机可用！
俄罗斯仍有5台ASML光刻机可用！
自俄乌冲突爆发之后，俄罗斯被众多国家和地区制裁，导致各种半导体芯片及设备的进口都受到了限制。这也迫使俄罗斯加大了对于自研、本土制造芯片的投入，但依然会面临设备、材料等很多方面的瓶颈。不过，据外媒《The Insider》报导，俄罗斯目前仍然可以通过一些途径从中国台湾进口硅晶圆（半导体硅片）等产品，这些是制造芯片所必须的原材料。
基于军事需求而建立的芯片制造能力
自 2022 年 2 月俄乌冲突爆发后，美国、欧盟、日本、新加坡、韩国、中国台湾等地就相继出台了针对俄罗斯的半导体的出口管制，希望通过阻断半导体供应，以降低俄罗斯的军事战力。虽然俄罗斯本土缺乏生产高性能、商业上可行的微芯片的现代技术，但这并不意味着当地制造商不知道如何生产半导体芯体。老式的芯片生产技术早在苏联时代就已经开发出来了。
例如，据光刻专业人士 Denis Shamiryan 介绍，俄罗斯公司 Mikron 已经掌握了大规模生产中的 180nm 技术和单件生产中的 90nm 技术。对于 90nm 工艺，Mikron 使用意法半导体光刻设备。Mikron 的民用产品仅限于银行卡和护照芯片，其年产量达到 40 亿个微芯片。
正如 Shamiryan 回忆的那样，俄罗斯还计划在莫斯科地区泽列诺格勒的 Angstrem-T 生产芯片，使用 130nm 和 90nm 技术。2000 年代末，Angstrem-T 从 AMD 位于德累斯顿的 Fab36 工厂购买了完整的 ASML 生产线。然而，这些计划从未实现，因为 Angstrem-T 在 2019 年被宣布破产。然而，另一家名为 Angstrem（去掉 T）的位于泽伦格勒的实体生产了一系列微芯片。
△俄罗斯伊斯坎德尔导弹的 Angstrem 微芯片与西方芯片在同一块主板上
Shamiryan 还指出，俄罗斯 Rusnano 集团旗下 Crocus NanoElectronics 工厂曾成功建立 65nm 制程，主要是为了生产 MRAM 內存，但它自己只能完成生产周期的一半，仍须依赖外国供应，但后来因为制裁该工厂被迫停业
俄罗斯现存的微芯片生产设施主要服务于军事需求。例如俄罗斯芯片制造商 Epiel 主要在莫斯科附近的泽列诺格勒开展业务，并将自己定位为俄罗斯芯片制造外延生长（epi）过程中的领导者。
根据 Epiel 最新的公开财务报表，该公司 2020 年的收入接近 700 万美元。Epiel 主要供应适直径为 100mm、150mm 和 200mm 的晶圆，虽然目前最先进的现代技术采用的是 300nm 晶圆。在该年度，Epiel 从俄罗斯工业和贸易部获得了数十万美元的政府合同，并向合资公司 NZPP Vostok（" 新西伯利亚半导体器件厂 "）供应加工过的晶圆，该公司为终端制造商生产现成的芯片。
根据最新的公共采购数据，NZPP Vostok 积极与 Rosatom 实体 K.a.Volodin 仪器制造厂（联邦国家统一企业）合作，后者专门生产核武器。而 NZPP Vostok 的工厂仍在生产 64 K bit 的存储芯片，至少直到最近，该工厂还向 Rybinsk 的 Luck Design Bureau 等军事企业出售价值数百万卢布的芯片，这些公司主要开发包括无人机在内的军事装备。
Epiel 的另一个客户是沃罗涅日的电子设备研究所，该研究所为被占领的克里米亚的 Fiolent 军事工厂、Sozvezdie Concern（为武装部队制造电子战和通信与控制设备）以及 Rosatom 的 Volodin 仪器制造厂提供产品。
现有记录还表明，Epiel 与前电子厂 Pulsar 之间存在合作，Pulsar 为军方制造微波设备、晶体管和微芯片。Epiel 还履行了 N.L. Dukhov All-Russian Research Institute of Automation（N.L. 杜霍夫全俄自动化研究所）的合同，该研究所开发核弹头。Epiel 的地址与据说属于 Mikron 集团的 Sitronics Smart Technologies 的地址相匹配。此外，Epiel 与 Mikron 和俄罗斯分子电子学研究所共享办公场所。因此，可以合理地假设 Epiel 属于同一集团公司。
俄罗斯制造的微芯片在武器中的具体应用包括 1890VM6Ya 处理器及其在战斗机 Baguette 飞行控制计算机中的变体。
△ Milandr 制造的俄罗斯 1645RU3U 存储芯片用于 S-300 和 Pantsir SAM 系统
早在 2011 年，热门 IT 门户网站 Habr 上的一篇文章就报道称，Milandr 在 180nm 技术设备上制造的芯片用于俄罗斯战斗机和防空系统。
俄罗斯国内芯片制造的过程似乎如下：首先，Epiel 在进口晶圆上进行外延生长。然后，Mikron、NZPP Vostok、Pulsar 或电子设备研究所等公司使用这些半导体产品制造即用型微芯片。据行业专家称，该过程可能包括将晶圆切割成单个芯体，连接引脚并 " 封装 " 它们。
虽然相对于现代芯片来说，这些芯片大多已经过时，但俄罗斯武器制造商选择国产芯片而不是技术更先进的芯片，一方面是出于安全考虑，另一方面则是由于制程导致的供应问题。另外，由于这些芯片主要用于大型重型武器，因此最先进的电子设备提供的小型化优势基本上无关紧要。
俄罗斯目前有 5 台老式的 ASML 光刻机
对于俄罗斯来说，自主制造芯片离不开关键的半导体设备，特别是光刻机。目前全球主要的 193nm（" 深紫外 "）波长的 DUV 光刻机供应商只有 ASML、尼康和佳能，而 13.5nm 的（" 极紫外 "，接近 X 射线范围）波长的 EUV 光刻机只有 ASML 可以制造。
ASML 发言人向 The Insider 证实，ASML 公司从未向俄罗斯出售过大量设备。自 2014 年以来，只有价值 5000 万美元的 ASML 品牌光刻机进口到俄罗斯。虽然 5000 万美元价值看起来不少，但这甚至都买不到一台 EUV 光刻机。
ASML 声称，俄罗斯只从第三国进口了拆除的旧设备的零件。乌克兰出版物《真理报》在很大程度上证实了这一评估。据报道，截至 2022 年，俄罗斯有五台波长范围为 365 至 193 纳米的 ASML 光刻机（均为 PAS 5000 系列）正在运行，分别位于俄罗斯系统分析科学研究所、Mapper、Zelenograd 纳米技术中心和 Mikron。
在俄乌战争全面爆发后，台积电已停止了对俄罗斯芯片的代工。为此，俄罗斯也不得不依靠已有的进口半导体设备在其国内制造自研芯片。虽然目前俄罗斯有五台 ASML 设备正在运作中，但这些设备非常过时，甚至已有 15-20 年历史。
对此，ASML 坚称，不为俄罗斯的光刻设备提供维修服务，但是仍有很多相关零件在制造商无法控制的二级市场上流通。
需要指出的是，除了在制裁前进口的少数西方光刻机外，俄罗斯制造商还可以从明斯克的 Planar 工厂获得光刻机。这些光刻机在 350nm 的波长下工作，最小特征尺寸为 500nm，代表了 1995 年出现的一种技术，但到 1999 年已经过时。
半导体原材料供应
俄罗斯自己制造芯片还存在另一个问题，那就是其本土缺乏必须的半导体材料供应商，比如半导体硅片和光罩等，这些必须依赖于进口。虽然之前遇到了一些阻碍，但目前俄罗斯依然可以通过一些途径采购到这些产品。
根据俄罗斯海关内部数据，俄罗斯在 2023 年共进口了价值 1.505 亿美元的半导体相关产品（海关代码 848620），用于生产微芯片和印刷电路板。买家名单包括民用实体（如生产智能卡和芯片的 Sitronics Smart Technologies 和生产太阳能电池板的 Hevel）、各种设备（包括受制裁商品）的经销商，以及为外围非核心项目购买少量设备的组织（如 IT 公司 Craftech）。
虽然俄罗斯最大的硅片进口商是 OOO Hevel，该公司在 2023 年从中国进口了价值近 700 万美元的硅片，但这些硅片主要是用于太阳能电池板的。而 Epiel 则是用于芯片制造的半导体硅片的最大的进口商之一，其在 2023 年进口了价值为 220 万美元半导体硅片。该公司的许多最终用户都是军工企业，从 2010 年代初到全面入侵乌克兰，其大多数供应商都是亚洲和美国的实体。
但在俄乌冲突爆发后，Epiel 不得不彻底改变供应商基础，改从东南亚几家主要出口商采购半导体硅片。从 The Insider 整理的名单来看，中国台湾公司 Pai Haung Technology 也向其出口了不少半导体硅片，而且其只与少数俄罗斯和白俄罗斯实体有业务往来，可直接从中台湾运送半导体硅片给他们。
自俄乌战争爆发后，Pai Haung 以其品牌出售了价值 400 万美元的半导体硅片给俄罗斯和白俄罗斯，但该品牌在网上没有任何知名度。The Insider 认为许多海关文件都将制造商指向另外一家公司，即中国台湾合晶科技（Wafer Works），因为这家公司在俄乌冲突爆发前，也是 Epiel 的供应商。
The Insider 认为，名不见经传的 Pai Haung 其实不生产半导体硅片，那他在供应链的角色仅限于转售中间商的角色。
由美国前财政部官员创立的数据公司 Kharon 发现，Pai Haung 曾被列为美国 DMS 电子元件集团网站上的附属实体，但现在看这个信息已经从网站消失。
Pai Haung 执行长 Bao Yongjian 在接受中国台湾媒体采访时表示，公司会严格遵守中国台湾法律，不与受制裁的公司做生意。
目前总部位于俄罗斯泽伦格勒的 Epiel 确实没有被列入美国及中国台湾或其他制裁名单，尽管它是俄罗斯军事工业最终使用的产品制造过程中不可或缺的一环。
然而，Pai Haung 的另一个客户 AO VZPP Mikron（沃罗涅日半导体设备股份公司 Mikron）正受到制裁。2020 年，Mikron 获得了一系列政府合同，开发高达 1200 伏的抗辐射齐纳二极管，这些二极管更有可能用于军事而非民用。
Epiel 的第四大供应商是日本 D&X 株式会社有限公司的中国分公司。应《The Insider》的要求，日本经济产业省发送了一份违禁品清单，其中显示日本公司不允许向俄罗斯出口硅片（代码 381800）。
Epiel 的另一家供应商 D&X 公司尚未对《The Insider》的调查做出回应。而管理部门则表示，它不知道 D&X 公司向俄罗斯发货。
